業務内容・修理の流れ

​​業務内容・修理の流れ

業務内容・主な修理の流れをまとめております。
修理依頼を頂いているユーザー様からの要望や、貴重な意見を参考にさせて頂き、日々対応をとっております。

 

ETOシステム修理

初代HDP-CVD工程 Centura Ultimaで使用されているETOシステムユニット内の各パーツ修理を承ります。

誕生から20年以上経過している為、各種パーツ供給が終了している為、弊社にて一部新品パーツ販売や、改造をおこなっております。マイクロウェーブコントローラーやマグネトロンヘッドの修理も可能です。

また、 ETOシステムユニットごとのO/Hも承ります。

オーバーホール&修理の流れ

ETOシステムユニットオーバーホール流れ
ETOシステム修理

修理完了後測定検査

ユニット修理 各出力チェック

ユニット修理 各出力チェック

Microwave controller  MAGNETRON HEAD測定検査

Microwave controller MAGNETRON HEAD測定検査

SSDボード connector45Vピン対策

コネクターの3.96mmピン1本の最大で耐えられる電流が5Aで、SSD作動時最大電流が20Aに達する。45Vの電源はPSデッキからの電源配分板(J1)に入る時に変わる。1本のピンの最大電流がスペックの5Aを超えるのでこの二つの接続部が黒く焼ける事が起きる。

connector45Vピン対策
接続部01
接続部02
コネクター

コネクター

オンラインテスト

オンラインテスト

​修理依頼を受けた際に改造します

温度対策

冷却パイプを広げる事で、流量を多くし通常より、約10℃程冷却効果を上げる。

冷却パイプ01
冷却パイプ02

改造は一回のみで別途費用が発生します。

 SSDヒートシンク装着テスト 

丸部分のTransisterで測定

通常版のSSD

改造品取り付けの状態

改造ヒートシンク

 

RF・DC修理

各メーカーのRF・DC電源修理を承ります。修理実績一覧に記入のない製品がありましたら、お問い合わせください

オーバーホール&修理の流れ

オーバーホール&修理の流れ
RF・DC修理1
RF・DC修理2
RF・DC修理3
RF・DC修理4

修理完了後測定検査

RF電源出力チェック

RF電源出力チェック

DC電源出力チェック

DC電源出力チェック
 

Ozone Generator修理

オゾンジェネレーター修理内で、キーパーツとなるCELLを、O/Hまたは交換出来るようになる事で修理が可能になります。その他、SENSOR CONNTROLLER ・OZONE SENSORも修理可能です

オーバーホールの手順

Ozone Generator修理1
Ozone Generator修理
Ozone Generator修理2
Ozone Generator修理4
オーバーホールの手順

修理完了後測定検査

Ozone 修理完了後1
Ozone 修理完了後2
 

基板修理

半導体製造装置側で使用されているソフトウェアをテストプラットホームで使用することにより、各種ボードのログ解析修理が可能となり、さらに周辺機器への連動操作確認もある程度可能になっています。
また、一部基板にてプログラム内容を修理前にバックアップし、修理後にデーターを再インストールする事で、修理完了後もそのまま使用可能です。

ボード修理の主な手順

ボード修理の主な手順
基盤1
基盤2
基盤3
基盤4

基板修理用プラットホーム

基盤修理用プラットホーム1
基盤修理用プラットホーム2
基盤修理用プラットホーム3

修理後の対応

修理後、いつ修理を行ったかわかるように、ボードにQRコードを取り付け。

​弊社での修理依頼を明確にするために実施しております。

QRコードの貼付01

QRコードの貼付

QRコードの貼付02

QRコードの貼付

QRコード読み取りイメージ

QRコード読み取りイメージ

RPS修理

AE製MKS製2~30Lまでのオーバーホールを承ります。ブロックチャンバーに関しては、再生作業不可の場合、定額修理金額内にて、新品と交換させて頂きます。

*修理依頼時から新品交換依頼の場合は別途有償

RPS修理主な手順

RPS修理主な手順
分解作業
各パーツごとに分解
 

修理完了後測定検査

修理完了後測定検査2L用
修理完了後測定検査3L用