東京都大田区 基板の修理、半導体製品修理、ETO修理、DC・RF電源修理、電源関係修理全般
株式会社グローバルジャパン
業務内容・修理の流れ
業務内容・主な 修理の流れをまとめております。
修理依頼を頂いているユーザー様からの要望や、貴重な意見を参考にさせて頂き、日々対応をとっております。
ETOシステム修理
初代HDP-CVD工程 Centura Ultimaで使用されているETOシステムユニット内の各パーツ修理を承ります。
誕生から20年以上経過している為、各種パーツ供給が終了している為、弊社にて一部新品パーツ販売や、改造をおこなっております。マイクロウェーブコントローラーやマグネトロンヘッドの修理も可能です。
また、 ETOシステムユニットごとのO/Hも承ります。
オーバーホール＆修理の流れ
修理完了後測定検査
ユニット修理 各出力チェック
Microwave controller MAGNETRON HEAD測定検査
SSDボード connector45Vピン対策
コネクターの3.96mmピン1本の最大で耐えられる電流が5Aで、SSD作動時最大電流が20Aに達する。45Vの電源はPSデッキからの電源配分板(J1)に入る時に変わる。1本のピンの最大電流がスペックの5Aを超えるのでこの二つの接続部が黒く焼ける事が起きる。
コネクター
オンラインテスト
修理依頼を受けた際に改造します
温度対策
冷却パイプを広げる事で、流量を多くし通常より、約10℃程冷却効果を上げる。
改造は一回のみで別途費用が発生します。
SSDヒートシンク装着テスト
丸部分のTransisterで測定
通常版のSSD
改造品取り付けの状態
改造ヒートシンク
RF・DC修理
各メーカーのRF・DC電源修理を承ります。修理実績一覧に記入のない製品がありましたら、お問い合わせください
オーバーホ ール＆修理の流れ
修理完了後測定検査
RF電源出力チェック
DC電源出力チェック
Ozone Generator修理
オゾンジェネレーター修理内で、キーパーツとなるCELLを、O/Hまたは交換出来るようになる事で修理が可能になります。その他、SENSOR CONNTROLLER ・OZONE SENSORも修理可能です
オーバーホールの手順
修理完了後測定検査
基板修理
半導体製造装置側で使用されているソフトウェアをテストプラットホームで使用することにより、各種ボードのログ解析修理が可能となり、さらに周辺機器への連動操作確認もある程度可能になっています。
また、一部基板にてプログラム内容を修理前にバックアップし、修理後にデーターを再インストールする事で、修理完了後もそのまま使用可能です。
ボード修理の主な手順
基板修理用プラットホーム
修理後の対応
修理後、いつ修理を行ったかわかるように、ボードにQRコードを取り付け。
弊社での修理依頼を明確にするために実施しております。
QRコードの貼付
QRコードの貼付
QRコード読み取りイメージ
RPS修理
AE製MKS製2～30Lまでのオーバーホールを承ります。ブロックチャンバーに関しては、再生作業不可の場合、定額修理金額内にて、新品と交換させて頂きます。
*修理依頼時から新品交換依頼の場合は別途有償
RPS修理主な手順
修理完了後測定検査
