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業務内容・修理の流れ
業務内容・主な修理の流れをまとめております。
修理依頼を頂いているユ ーザー様からの要望や、貴重な意見を参考にさせて頂き、日々対応をとっております。
ETOシステム修理
ETOシステム修理
初代HDP-CVD工程 Centura Ultimaで使用されているETOシステムユニット内の各パーツ修理を承ります。
誕生から20年以上経過している為、各種パーツ供給が終了している為、弊社にて一部新品パーツ販売や、改造をおこなっております。マイクロウェーブコントローラーやマグネトロンヘッドの修理も可能です。
また、 ETOシステムユニットごとのO/Hも承ります。
オーバーホール&修理の流れ
修理完了後測定検査
ユニット修理 各出力チェック
Microwave controller MAGNETRON HEAD測定検査
SSDボード connector45Vピン対策
コネクターの3.96mmピン1本の最大で耐えられる電流が5Aで、SSD作動時最大電流が20Aに達する。45Vの電源はPSデッキからの電源配分板(J1)に入る時に変わる。1本のピンの最大電流がスペックの5Aを超えるのでこの二つの接続部が黒く焼ける事が起きる。
コネクター
オンラインテスト
修理依頼を受けた際に改造します
温度対策
冷却パイプを広げる事で、流量を多くし通常より、約10℃程冷却効果を上げる。
改造は一回のみで別途費用が発生します。
SSDヒートシンク装着テスト
丸部分のTransisterで測定
通常版のSSD
改造品取り付けの状態
改造ヒートシンク
RF・DC修理
RF・DC修理
各メーカーのRF・DC電源修理を承ります。修理実績一覧に記入のない製品がありましたら、お問い合わせください
オーバーホール&修理の流れ
修理完了後測定検査
RF電源出力チェック
DC電源出力チェック
Ozone Generator修理